MO-PECVD SnO 2气敏薄膜的制备及表征 阎军锋,何崇斌,王雪文,张志勇 (西北大学 电子科学系，陕西 西安 710069)?  全文: PDF   摘要： 关键词： MO-PECVD方法； SnO 2薄膜； 气敏 发表年限: 2004年 发表期号: 第3期