HFCVD法制备SiC薄膜工艺 赵 武,王雪文,邓周虎,张志勇 (西北大学电子科学系，陕西西安710069)  全文: PDF   摘要： 关键词： 低温生长；碳化硅；薄膜；热丝CVD；准晶 发表年限: 2002年 发表期号: 第3期