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nc?Si∶H薄膜的制备及特性表征
张志勇,王雪文,赵 武,阎军峰,戴 琨
(西北大学 电子科学系,陕西 西安 710069)?
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摘要:
关键词:
等离子化学气相沉积技术;纳米硅薄膜;结构分析?
发表年限:
2002年
发表期号:
第5期
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