nc?Si∶H薄膜的制备及特性表征 张志勇,王雪文,赵 武,阎军峰,戴 琨 （西北大学 电子科学系，陕西 西安 710069）?  全文: PDF   摘要： 关键词： 等离子化学气相沉积技术；纳米硅薄膜；结构分析? 发表年限: 2002年 发表期号: 第5期