基于MEMS的电容式电流传感器原理与设计 张渤,李文峰 西安科技大学通信与信息工程学院  全文: PDF   摘要： 关键词： MEMS，电流传感器，悬臂梁，差分电容 发表年限: 2013年 发表期号: 第1期